5.1　真空计的分类

真空计的种类较多，根据其工作原理可分为绝对真空计和相对真空计。前者是直接测量压力高低的真空计，如U形真空计、压缩真空计；后者是不能直接测量压力的数值，而只能测量与压力有关的物理量，再与绝对真空计相比较进行标定的真空计，如热传导真空计、电离真空计、薄膜真空计等。

由于各种真空计的结构原理不同，以及测量与压力有关的物理量时，这个物理量与压力之间的关系只是在某些压力范围才成立，即各种真空计都有不同的测量范围（量程），因此不同压力范围要采用不同的真空计去测量。近代真空技术所涉及的压力范围达十几个数量级，因此没有任何一种真空计能测量这么宽的压力范围。目前，从大气压到10-10Pa超高真空范围内的压力测量问题都已经解决了，在10-11～10-13Pa的极高真空范围的压力测量也已取得较大进展。表5-1列出了一些真空计的测量范围。

表5-1　一些真空计的测量范围

下面介绍几种常用真空计的工作原理、真空规结构、压力测量范围及使用注意事项等。